Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Bekanntmachung
gemäß § 26 der Strahlenschutzverordnung
5. Ergänzung zur Bauartzulassung mit dem Bauartzeichen BfS 01/07 S RöV
Gemäß den §§ 45 bis 47 des Strahlenschutzgesetzes vom 27. Juni 2017 (BGBl. I S. 1966), das zuletzt durch die Bekanntmachung vom 3. Januar 2022 (BGBI. I S. 15) geändert worden ist, und den §§ 24 bis 26 der Strahlenschutzverordnung (StrlSchV) vom 29. November 2018 (BGBl. I S. 2034, 2036; 2021 I S. 5261), die zuletzt durch Artikel 1 der Verordnung vom 8. Oktober 2021 (BGBI. I S. 4645) geändert worden ist, wird die Bauzulassung wie folgt ergänzt:
| Bezeichnung der Vorrichtung: | Elektronenstrahlbelichtungsanlage als Störstrahler (gemäß § 17 StrlSchV) |
| Typ/Firmenbezeichnung: | SB3050, SB3054, SB3054 DW, SB352HR, SB3050-2 |
| Inhaber der Zulassung/ Hersteller der Vorrichtung: |
Vistec Electron Beam GmbH Ilmstraße 4 07743 Jena |
| Zugelassene Verwendung: | zur Halbleiterlithografie zugelassen |
| Befristung der Zulassung: | 24. Januar 2027 |
Die Ergänzung der Bauartzulassung umfasst folgende Punkte:
Änderungen an der Strahlenblende, außen am Zwischentubus 1 und 2, an den Formatblendentuben, an den Formatblenden, im Zwischentubus 1 bis 4, an der Aperturblende, an der Linse L6 und an der Kammer 300 mm 2015.
Eine zusätzliche Gerätevariante mit der Typenbezeichnung SB3050-2 wurde neu aufgenommen.
Braunschweig, den 19. September 2022
GZ 7/21 S StrlSchG_2021_04
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Im Auftrag
Pullner
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